● 物理学特論１

041-B-604

ナノテクノロジーは、21世紀の基盤技術として研究開発分野ばかりでなく、広く工業製品、医療技術などに至るまで応用され利用されている。半導体はもとより、スマートフォン、タブレット端末、燃料電池、大型ディスプレーから人工臓器、ステントに至るまで21世紀の産業の糧は、如何にして材料の表面・界面を制御して必要とする機能を発現させるかにあるといっても過言ではない。日本の優れた産業技術は、長い年月の蓄積から生まれる基礎科学に基づいた材料開発力に支えられてきた。それを支えてきたのが材料評価技術である。表面評価技術は、固体に電子線、X線やイオンを照射し、固体との相互作用によって発生する電子、イオン等の信号を検出、解析して表面の組成や構造を推定する方法である。本講義では、代表的な表面・界面評価手法の基礎と応用を豊富な具体例を挙げて解説する。

代表的な表面・界面評価手法の基礎と応用を豊富な具体例を通じて企業における最新の開発状況を紹介すると共に表面評価技術の基本的な理解を身につけることが本講義の目的である．得られた分析結果を考察するために必要な分析力を身に着けることができる。

1	表面・界面分析の概要と実際の応用例
2	固体とX線、電子、イオンの相互作用
3	電子、X線、イオンの発生
4	超高真空技術と表面分析
5	表面分析の原理（１）電子を使った分析手法-1
6	表面分析の原理（１） 電子を使った分析手法-2
7	表面分析の原理（１） 電子を使った分析手法-3
8	表面分析の原理（２）X線を使った分析手法-1
9	表面分析の原理（２）X線を使った分析手法-2
10	表面分析の原理（３）イオンを使った分析手法
11	微小領域分析の最前線（原子・分子1つを観る技術）
12	各種表面分析の半導体プロセスへの応用
13	各種表面分析の有機材料への応用
14	授業の総括
15	自主研究

豊富な具体例を挙げた資料プリントを配布して解説する。

講義型式。講義期間中にレポートを課すことがあります。

各授業ごとに資料プリントを当日配布します。2回目以降、前回使用した配布資料プリントを事前に復習（約30分）しておくこと。

レポート：70％（課題に対する正確性と理解度。）

平常点（クラス参加、グループ作業の成果等）：30％（出席率）

レポートを実施する。

授業時に指示する。

授業時に指示する。

・将来企業に就職して開発業務に関わりたいと希望している学生を歓迎します。
・材料科学を専攻されたいと希望している学生を歓迎します。

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